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區熔爐
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區熔爐

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產品描述

區熔加熱爐采用往復區熔的方式,閉環溫度控制,可靠的控制熔區的寬度問題;生長室的設計成功解決生長室的污染問題,將加熱及保溫材料均設置在生長腔室外部,采用高純石英作為腔室,同時抽真空;將流動高純氫氣通入腔室,去除腔室中的微量氧,解決氧化的問題;開發高柔性的控制軟件,采用觸摸屏進行操作,任意設置區熔的溫度,區熔的速度及次數。對于高純氣路柜內部和石英管的密封部位增加燃氣報警器,通過設備的電氣控制實現互鎖,一旦有泄漏,自動關閉加熱爐及進氣通道,改沖高純氮氣,同時大抽速真空系統立即啟動,抽走危險氣體,具有超壓自動切斷進氣并聲光報警。

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